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Hellma CaF?-Rundscheiben 是德國赫爾瑪專為深紫外光學系統打造的高精度氟化鈣單晶圓形鏡片，依托193nm準分子激光級光學材質、<111>定向單晶生長工藝與超精密研磨技術，具備紫外高透過、光學穩定性強、應力極低、表面均勻性優異等核心特性，廣泛應用于半導體光刻、激光醫療、光譜分析、精密光學檢測等光學領域，是紫外光學元件的級產品。
| 技術項目 | 參數規格 |
| 產品型號 | CaF?-Rundscheiben |
| 光學材質 | CaF? 193nm LD-A 單晶 |
| 晶體方向 | <111>定向結晶 |
| 鏡片尺寸 | Φ28.0mm × 5.0mm 平行平面 |
| 表面質量 | 研磨級 Rq 2µm |
該鏡片采用<111>定向單晶生長工藝，晶格排列高度規整，內部無雜質、無氣泡、折射，在193nm深紫外波段保持超高透過率，滿足光刻與激光系統的嚴苛光學要求。LD-A高純級材質具備優異的激光損傷閾值，可抵御高能紫外激光長期照射，不易老化、不衰減，光學性能長期穩定。
雙面平行平面研磨工藝確保表面粗糙度Rq 2µm，平面度與均勻性達到光學級標準，尺寸公差嚴格控制在±0.1mm，保證安裝后的光路精準同軸。0.5mm防護倒角設計可有效防止邊緣崩邊、破損，提升鏡片機械強度與裝配安全性。
Hellma CaF?紫外光學鏡片集高純度、高定向性、高精密尺寸于一體，符合半導體與科研級光學標準，是深紫外系統的核心基礎元件。德國原廠精密加工與全流程檢測，確保單片性能一致性與可靠性。其核心技術解決紫外光學傳輸、透射、穩定性等關鍵難題，可顯著提升光學設備精度與使用壽命，是光刻、激光、科研儀器的關鍵光學部件。
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